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标题
Influence of Corrugation Size and Location on Sensitivity Enhancement for MEMS-Based Pressure Sensor
波纹尺寸和位置对MEMS压力传感器灵敏度增强的影响
相关领域
微电子机械系统 振膜(声学) 半径 灵敏度(控制系统) 有限元法 偏转(物理) 周长 声学 压力传感器 平方(代数) 材料科学 电容感应 工程类 结构工程 光学 几何学 电子工程 振动 物理 光电子学 数学 电气工程 计算机科学 机械工程 计算机安全
网址
DOI
10.24191/jmeche.v19i1.19683 doi
求助人
搞怪的幼荷 在 2024-10-14 14:15:22 发布自陕西,悬赏 10 积分
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