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 Argon Plasma Modification of SU-8 for Very High Aspect Ratio and Dense Copper Electroforming 用于超高长径比致密铜电铸的SU-8氩等离子体改性
相关领域
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电铸
铜
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Jun Zhang; W. X. Zhou; Mary B. Chan‐Park; Samuel R. Conner 出版日期：2005-01-01 |
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