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Ultrasonic standing waves-driven high resolution rotary table
超声驻波驱动高分辨率转台
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期刊:Precision Engineering 作者:I. Grybas; R. Bansevičius; Vytautas Jūrėnas; А. Бубулис; Jūratė Janutėnaitė-Bogdanienė; et al 出版日期:2016-03-25 |
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