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标题
Effect of stresses on the evolution of annealing textures in Cu and Al interconnects
应力对铜铝互连线退火织构演化的影响
相关领域
退火（玻璃） 铜互连 铜 材料科学 互连 铝 固体物理学 复合材料 表面能 表面光洁度 能量最小化 凝聚态物理 冶金 化学 计算机科学 计算化学 物理 计算机网络
网址
https://doi.org/10.1007/s11664-003-0083-5
DOI
10.1007/s11664-003-0083-5 doi
其它 期刊：Journal of Electronic Materials
作者：Dong Nyung Lee; Hyo Jong Lee
出版日期：2003-10-01
求助人
哒哒哒 在 2025-02-10 09:55:41 发布，悬赏 10 积分
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