标题 |
Hard TiN2 dinitride films prepared by magnetron sputtering
磁控溅射制备硬质TiN2二氮化物薄膜
相关领域
材料科学
腔磁控管
溅射沉积
溅射
薄膜
复合材料
光电子学
冶金
纳米技术
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其它 |
期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:J. Musil; Martin Jaroš; Šimon Kos; R. Čerstvý; Stanislav Haviar 出版日期:2018-06-28 |
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