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标题
Mechanism study of low-resistance ohmic contact in Cr/Au electrodes on (100) β-Ga2O3 substrate with rapid thermal annealing
(100)β-Ga2O3衬底Cr/Au电极快速热退火低电阻欧姆接触机理研究
相关领域
欧姆接触 退火(玻璃) 材料科学 电极 接触电阻 冶金 化学 物理化学
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2024.161970 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Xin Qi; Yi Shen; Chengxi Ding; Yuanhui Zuo; Qilong Yuan; et al
出版日期:2024-11-01
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