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 Hydrogen Stability and Bonding in SiNx and Al2O3 Dielectric Stacks on Poly-Si/SiOx Passivating Contacts 多晶Si/SiOx钝化触点上SiNx和Al2O3介质叠层的氢稳定性和键合
相关领域
钝化
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期刊：ACS applied energy materials 作者：Matthew B. Hartenstein; William Nemeth; David L. Young; Paul Stradins; Sumit Agarwal 出版日期：2023-06-27 |
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