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标题
Mitigation of shunt in poly-Si/SiO passivated interdigitated back contact monocrystalline Si solar cells by self-aligned etching between doped fingers
掺杂指间自对准刻蚀抑制多晶硅/硅钝化交错背接触单晶硅太阳电池的分流
相关领域
单晶硅 兴奋剂 蚀刻(微加工) 材料科学 光电子学 钝化 多晶硅 太阳能电池 晶体硅 纳米技术 薄膜晶体管 图层(电子)
网址
DOI
10.1016/j.solmat.2023.112195 doi
其它 期刊:Solar Energy Materials and Solar Cells
作者:Matthew B. Hartenstein; William Nemeth; Kejun Chen; Vincenzo LaSalvia; San Theingi; et al
出版日期:2023-01-12
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