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Piezoresistance Coefficients of (100) Silicon nMOSFETs Measured at Low and High ($\sim$1.5 GPa) Channel Stress
在低和高($\sim$1.5 GPa)沟道应力下测量的(100)硅NMOSFET的压阻系数
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:S. Suthram; John C. Ziegert; Toshikazu Nishida; Scott E. Thompson 出版日期:2007-01-01 |
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