Innovative two-step method for efficient silicon microfluidic device fabrication: Integrating laser ablation with wet etching

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标题	Innovative two-step method for efficient silicon microfluidic device fabrication: Integrating laser ablation with wet etching 高效硅微流控器件的创新两步法：激光烧蚀与湿法刻蚀相结合相关领域材料科学制作激光烧蚀蚀刻（微加工）微流控硅烧蚀纳米技术光电子学干法蚀刻激光器光学工程类医学物理替代医学病理图层（电子）航空航天工程
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108208
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108208 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：H. Y. Wang; Hua Tong; Cui Liu; Xiao Yuan; Xiaojun Yao; et al 出版日期：2024-05-01
求助人	srf0602. 在 2024-12-20 19:34:53 发布自天津，悬赏 10 积分
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