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标题
CF4/O2 inductively coupled plasma etching of silicate glass for antifogging applications
CF4/O2电感耦合等离子体刻蚀硅酸盐玻璃防雾应用
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网址
https://doi.org/10.1016/j.optmat.2023.113437
DOI
10.1016/j.optmat.2023.113437 doi
其它 期刊：Optical Materials
作者：D. Jucius; Viktoras Grigaliūnas; Mindaugas Juodėnas; Asta Guobienė; Algirdas Lazauskas
出版日期：2023-02-01
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Kss 在 2025-01-10 09:55:33 发布自广东，悬赏 10 积分
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