Improving surface smoothness of laser-fabricated microchannels for microfluidic application

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标题	Improving surface smoothness of laser-fabricated microchannels for microfluidic application 提高微流控用激光微通道表面光洁度相关领域微通道材料科学蚀刻（微加工）微流控表面粗糙度各向同性腐蚀激光器表面光洁度反应离子刻蚀纳米技术激光烧蚀光电子学光学复合材料图层（电子）物理
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/21/9/095008
DOI	10.1088/0960-1317/21/9/095008 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Z K Wang; Hui Zheng; Roderick Y. H. Lim; Yee Cheong Lam 出版日期：2011-08-04
求助人	zwtaihua1025 在 2024-02-27 20:57:06 发布自北京，悬赏 10 积分
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