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 Front-side releasing <110> oriented clamped-clamped beams for piezoresistive sensors 用于压阻传感器的前侧释放<110>定向夹紧——夹紧梁
相关领域
压阻效应
蚀刻（微加工）
材料科学
体微机械加工
微电子机械系统
硅
兴奋剂
光电子学
前线（军事）
表面微加工
复合材料
制作
机械工程
工程类
图层（电子）
替代医学
病理
医学
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