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Integrated Deep Trench Capacitor in Si Interposer for CoWoS Heterogeneous Integration
用于CoWoS异构集成的硅内插层中集成深沟电容
相关领域
材料科学
中间层
电容器
电气工程
光电子学
电容
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物理
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图层(电子)
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期刊:International Electron Devices Meeting 作者:S. Y. Hou; Cheng‐Hsien Wu; Douglas Yu; H. Hsia; Chien‐Hsiung Tsai; et al 出版日期:2019-12-01 |
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