Low-energy argon ion bombardment-induced decomposition of physisorbed hydrofluorocarbons on silicon nitride surfaces: A computational mechanistic study

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标题	Low-energy argon ion bombardment-induced decomposition of physisorbed hydrofluorocarbons on silicon nitride surfaces: A computational mechanistic study 低能氩离子轰击诱导氮化硅表面物理吸附氢氟碳化合物分解的计算机理研究相关领域分解化学离子硅从头算分子动力学化学物理氮化硅蚀刻（微加工）从头算量子化学方法计算化学氩原子物理学分子图层（电子）有机化学物理
网址	https://doi.org/10.1063/5.0155929 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1063/5.0155929 doi
其它	期刊：Journal of Chemical Physics 作者：Erik S. Cheng; Gyeong S. Hwang 出版日期：2023-07-07
求助人	诸葛诗双在 2023-09-05 09:50:35 发布自天津，悬赏 10 积分
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