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 Low-energy argon ion bombardment-induced decomposition of physisorbed hydrofluorocarbons on silicon nitride surfaces: A computational mechanistic study 低能氩离子轰击诱导氮化硅表面物理吸附氢氟碳化合物分解的计算机理研究
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期刊：Journal of Chemical Physics 作者：Erik S. Cheng; Gyeong S. Hwang 出版日期：2023-07-07 |
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