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 Effects of gap size, temperature and pumping pressure on the fluid dynamics and chemical kinetics of in-line spatial atomic layer deposition of Al2O3 间隙尺寸、温度和泵送压力对Al2O3在线空间原子层沉积流体动力学和化学动力学的影响
相关领域
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期刊：International Journal of Heat and Mass Transfer/International journal of heat and mass transfer 作者：Dongqing Pan; Tien‐Chien Jen; Chris Yuan 出版日期：2016-05-01 |
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