Germanium surface cleaning and ALD of a protective boron nitride overlayer

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标题	Germanium surface cleaning and ALD of a protective boron nitride overlayer 氮化硼保护层的锗表面清洗及ALD 相关领域覆盖层 X射线光电子能谱材料科学原子层沉积钝化锗化学工程氧化锗图层（电子）硅化学气相沉积分析化学（期刊）纳米技术化学冶金物理化学有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002928
DOI	10.1116/6.0002928 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Olatomide Omolere; Qasim Adesope; Samar Alhowity; Tochi L. Agbara; Jeffry A. Kelber 出版日期：2023-11-16
求助人	陈思在 2024-07-17 10:15:56 发布自广东，悬赏 10 积分
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