Using MOCVD technology to meet key process requirements that enable micro LEDs

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标题	Using MOCVD technology to meet key process requirements that enable micro LEDs 利用MOCVD技术满足微型发光二极管的关键工艺要求相关领域发光二极管钥匙（锁）过程（计算）金属有机气相外延计算机科学光电子学材料科学纳米技术计算机安全操作系统外延图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.3008901
DOI	10.1117/12.3008901 doi
其它	作者：M.A. McKee; Bojan Mitrovic; E. Armour; Jay A. Montgomery 出版日期：2024-03-13
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