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 Excellent surface passivation of p-type TOPCon enabled by ozone-gas oxidation with a single-sided saturation current density of ∼ 4.5 fA/cm2 单侧饱和电流密度为4.5fA/cm2的臭氧-气体氧化使p型拓普康表面具有优异的钝化性能
相关领域
钝化
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
非晶硅
饱和电流
太阳能电池
硅
晶体硅
纳米技术
光电子学
图层（电子）
电气工程
电压
工程类
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| 其它 |
期刊：Solar Energy 作者：Na Lin; Zhenhai Yang; Haojiang Du; Zetao Ding; Zunke Liu; et al 出版日期：2023-07-01 |
| 求助人 | |
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