Direct write electron beam lithography: a historical overview

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标题	Direct write electron beam lithography: a historical overview 直写电子束光刻：历史概述相关领域平版印刷术光学像素电子束光刻计算机科学吞吐量薄脆饼物理光电子学材料科学抵抗纳米技术电信无线图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.868477
DOI	10.1117/12.868477 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：H. C. Pfeiffer 出版日期：2010-09-30
求助人	濮阳幻竹在 2024-08-06 17:00:21 发布自广东，悬赏 20 积分
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