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 Growth mechanism of TiN reaction layers produced on AlN via active metal bonding AlN表面活性金属键合TiN反应层的生长机理
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期刊：Journal of materials science 作者：Nobuyuki Terasaki; Masumi Sakaguchi; Harumi Chiba; Touyou Ohashi; Yoshiyuki Nagatomo; et al 出版日期：2022-07-01 |
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