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 Simultaneous Determination of Young’s Modulus and Residual Stress in PECVD a-SiC from Postbuckling Vibration of MEMS Beams 利用MEMS梁屈曲后振动同时测定PECVD a-SiC中的杨氏模量和残余应力
相关领域
残余应力
材料科学
微电子机械系统
等离子体增强化学气相沉积
模数
复合材料
薄膜
低介电常数
压力（语言学）
屈曲
结构工程
电介质
光电子学
纳米技术
工程类
哲学
语言学
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| 其它 |
期刊：ECS transactions 作者：Rudra Pratap; Amruta Ranjan Behera 出版日期：2018-07-23 |
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