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 Ion beam modification of the Ni-Si solid-phase reaction: The influence of substrate damage and nitrogen impurities introduced by ion implantation Ni-Si固相反应的离子束改性：衬底损伤和离子注入引入的氮杂质的影响
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期刊：Journal of physics. D, Applied physics 作者：K. van Stiphout; Filip Geenen; Nuno M. Santos; S. M. C. Miranda; Vincent Joly; et al 出版日期：2020-10-13 |
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