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标题
Charging effect in HfO2 films deposited on SiO2/Si by atomic layer deposition
原子层沉积法在SiO2/Si上沉积HfO2薄膜的电荷效应
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网址
https://opus4.kobv.de/opus4-UBICO/frontdoor/index/index/docI...
AI链接 kobv.de
DOI
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其它 期刊：Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft
作者：Silma Alberton Corrêa; Simone Brizzi; Massimo Tallarida; Dieter Schmeißer
出版日期：2014-01-01
求助人
超级蛙咔 在 2024-08-17 14:36:56 发布自湖南，悬赏 10 积分
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