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 Research on the synergistic effect of megasonic and particles in through mask electrochemical etching process 透掩膜电化学刻蚀过程中兆声波与粒子协同效应的研究
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期刊：Electrochimica Acta 作者：Ke Zhai; Liqun Du; Shuxuan Wang; Yikui Wen; Junshan Liu 出版日期：2020-12-01 |
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