Time-dependent characterization of total electron yield and outgassing in model EUV resist materials

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标题	Time-dependent characterization of total electron yield and outgassing in model EUV resist materials 模型极紫外抗蚀剂材料中总电子产额和释气的时间依赖性特征相关领域放气抵抗极紫外光刻产量（工程）电子材料科学极端紫外线表征（材料科学）纳米技术化学物理光学复合材料核物理学激光器有机化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.3034401
DOI	10.1117/12.3034401 doi
其它	期刊：作者：Bernhard Lüttgenau; Shouxin Zhang; Qi Zhang; Cheng Wang; Ricardo Ruiz; et al 出版日期：2024-11-12
求助人	Heidi 在 2024-12-23 09:30:51 发布自美国，悬赏 20 积分
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