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 Excellent conformality of atmospheric-pressure plasma-enhanced spatial atomic layer deposition with subsecond plasma exposure times 亚秒等离子体暴露时间的大气压等离子体增强空间原子层沉积的优异保形性
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Mike L. van de Poll; Hardik Jain; James N. Hilfiker; Mikko Utriainen; Paul Poodt; et al 出版日期：2023-10-30 |
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