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 The adhesion strength and mechanical properties of SiC films deposited on SiAlON buffer layer by magnetron sputtering 磁控溅射沉积SiC薄膜在SiAlON缓冲层上的附着强度和力学性能
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Shumei Song; Hui Sun; Sheng-Chi Chen; Mingjiang Dai; Kunlun Wang; et al 出版日期：2018-12-30 |
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