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标题
High Quality Co-Sputtering AlScN Thin Films for Piezoelectric Lamb-Wave Resonators
用于压电兰姆波谐振器的高质量共溅射AlScN薄膜
相关领域
材料科学 薄膜 压电 溅射 蚀刻（微加工） 铁电性 分析化学（期刊） 谐振器 复合材料 纳米技术 光电子学 电介质 化学 图层（电子） 有机化学
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2022.3161055
DOI
10.1109/jmems.2022.3161055 doi
其它 期刊：Journal of Microelectromechanical Systems
作者：Shuai Shao; Zhifang Luo; Yuan Lu; Andrea Mazzalai; C. Tosi; et al
出版日期：2022-04-07
求助人
Sean 在 2024-12-16 21:48:17 发布自河北，悬赏 10 积分
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