Molecular dynamics simulation of SiC oxide layer mechanical polishing

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标题	Molecular dynamics simulation of SiC oxide layer mechanical polishing 二氧化硅层机械抛光的分子动力学模拟相关领域抛光化学机械平面化分子动力学图层（电子）材料科学氧化物复合材料计算机科学冶金化学计算化学
网址	https://doi.org/10.1117/12.3038319
DOI	10.1117/12.3038319 doi
其它	期刊：作者：Xincheng Yin; Yuhang Zhou; Haiwang Liu; Youliang Wang; Shujuan Li 出版日期：2024-08-05
求助人	健壮的紫菱在 2024-11-17 18:46:53 发布自陕西，悬赏 20 积分
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