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 Low Volume Shrinkage Alkaline Degradable UV Nanoimprint Lithography Resists Based on Acrylic Anhydride 低体积收缩碱性可降解紫外纳米压印抗蚀剂的基于丙烯酸酯的抗蚀剂
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期刊：Nanoscale 作者：Chuan Zhao; Ya-Juan Cai; Yi-Xing Sun; Ya-Ge Wu; Ke-Xiao Sang; et al 出版日期：2024-01-01 |
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