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Fate of low molecular weight organic matters in reverse osmosis and vacuum ultraviolet process for high-quality ultrapure water production in the semiconductor industry
半导体工业生产高品质超纯水的反渗透和真空紫外工艺中低分子量有机物的命运
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期刊:Journal of Cleaner Production 作者:Yonghwan Kang; J. C. Kwon; Jungbin Kim; Seungkwan Hong 出版日期:2023-09-06 |
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