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 Structural and optical properties of titanium aluminum nitride films (Ti1−xAlxN) 氮化钛铝薄膜（Ti1-xAlxN）的结构和光学性质
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Andreas Schüler; V. Thommen; Peter Reimann; Peter Oelhafen; G. Francz; et al 出版日期：2001-05-01 |
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