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标题
Structural and optical properties of titanium aluminum nitride films (Ti1−xAlxN)
氮化钛铝薄膜（Ti1-xAlxN）的结构和光学性质
相关领域
材料科学 X射线光电子能谱 微晶 氮化物 钛 分析化学（期刊） 氮化钛 溅射沉积 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 薄膜 电介质 光电子学 溅射 化学工程 纳米技术 冶金 复合材料 化学 工程类 色谱法 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1116/1.1359532
AI链接 aip.org lib4ri.ch lib4ri.chdoi.org
DOI
10.1116/1.1359532 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Andreas Schüler; V. Thommen; Peter Reimann; Peter Oelhafen; G. Francz; et al
出版日期：2001-05-01
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背后的元槐 在 2024-10-29 19:24:23 发布自浙江，悬赏 10 积分
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