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标题
Fast and accurate automatic wafer defect detection and classification using machine learning based SEM image analysis
基于机器学习的SEM图像分析快速准确的晶圆缺陷自动检测和分类
相关领域
薄脆饼 计算机科学 人工智能 上下文图像分类 计算机视觉 机器视觉 模式识别（心理学） 图像（数学） 机器学习 材料科学 光电子学
网址
https://doi.org/10.1117/12.3012184
DOI
10.1117/12.3012184 doi
其它 期刊：
作者：Sanghyun Choi; Qian Xie; Nathan G. Greeneltch; Hyung Joo Lee; Mohan Govindaraj; et al
出版日期：2024-04-10
求助人
linyufeifei 在 2024-09-29 15:10:57 发布自江苏，悬赏 20 积分
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