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Effect of EDTA-modified alumina composite abrasive on the CMP performance of sapphire substrate
EDTA改性氧化铝复合磨料对蓝宝石基体CMP性能的影响
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期刊:Materials Chemistry and Physics 作者:Wei Zhang; Hong Lei; Wenqing Liu; Zefang Zhang; Yi Chen; et al 出版日期:2024-01-01 |
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