Wet etching of GaN, AlN, and SiC: a review - 科研通

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标题	Wet etching of GaN, AlN, and SiC: a review GaN、AlN和SiC的湿法刻蚀研究进展相关领域反应离子刻蚀材料科学蚀刻（微加工）各向同性腐蚀制作光电子学干法蚀刻纳米技术图层（电子）医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1016/j.mser.2004.11.002
DOI	10.1016/j.mser.2004.11.002 doi
其它	期刊：Materials Science and Engineering R Reports 作者：D. Zhuang; James H. Edgar 出版日期：2005-01-01
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