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 Effect of Co-Reactants on Interfacial Oxidation in Atomic Layer Deposition of Oxides on Metal Surfaces 共反应物对金属表面氧化物原子层沉积中界面氧化的影响
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Jay V. Swarup; Heng-Ray Chuang; A. You; J. R. Engstrom 出版日期：2024-03-20 |
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