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 ALD Derived Conformal High Reflective Coatings at 266 nm ALD衍生的266 nm共形高反射涂层
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期刊：Optical Interference Coatings Conference (OIC) 2022 作者：Dimitri Zielke; Henrik Ehlers; Wolfgang Ebert; Jue Wang; Paul Michaloski 出版日期：2022-01-01 |
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