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 Silicon Surface Passivation by Al2O3: Effect of ALD Reactants Al2O3对硅表面的钝化：ALD反应物的影响
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钝化
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期刊：Energy Procedia 作者：Päivikki Repo; Heli Talvitie; Shuo Li; Jarmo Skarp; Hele Savin 出版日期：2011-01-01 |
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