Layer morphology analysis of sputter-eroded silicon gratings using Rutherford backscattering

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标题	Layer morphology analysis of sputter-eroded silicon gratings using Rutherford backscattering 用卢瑟福背散射分析溅射腐蚀硅光栅的层形貌相关领域溅射材料科学硅卢瑟福背散射光谱法氩钽图层（电子）扫描电子显微镜形态学（生物学）光学分析化学（期刊）光电子学原子物理学薄膜化学复合材料纳米技术物理色谱法生物冶金遗传学
网址	https://doi.org/10.1016/j.nimb.2011.05.002
DOI	10.1016/j.nimb.2011.05.002 doi
其它	期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：Hagen Langhuth; M. Mayer; S. Lindig 出版日期：2011-05-11
求助人	Aisha 在 2025-02-20 13:48:47 发布自陕西，悬赏 10 积分
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