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标题
In-line metrology of high aspect ratio structu with MBIR technique
利用MBIR技术在线测量高深宽比结构
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网址
https://doi.org/10.1109/asmc.2011.5898169
DOI
10.1109/asmc.2011.5898169 doi
其它 期刊：
作者：Delphine Le Cunf; Leif Jonny Hoglund; Nicolas Laurent
出版日期：2011-05-01
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布丁 在 2024-12-03 09:47:47 发布自河北，悬赏 10 积分
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