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Thin films of thermoelectric compound Mg2Sn deposited by co-sputtering assisted by multi-dipolar microwave plasma
多偶极微波等离子体共溅射沉积热电化合物Mg2Sn薄膜
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期刊:Journal of Alloys and Compounds 作者:H. Le-Quoc; A. Lacoste; E. K. Hlil; A. Bès; T. Tan Vinh; et al 出版日期:2011-08-05 |
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