Hydrogen Plasma Utilization in Advanced Logic Technology

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标题	Hydrogen Plasma Utilization in Advanced Logic Technology 氢等离子体在先进逻辑技术中的应用相关领域等离子体材料科学氢产量（工程）光电子学氧化物等离子清洗纳米技术化学工程分析化学（期刊）复合材料化学冶金物理有机化学色谱法量子力学工程类
网址	https://doi.org/10.1149/ma2015-02/29/1095
DOI	10.1149/ma2015-02/29/1095 doi
其它	期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者：Qiu-Hua Han; Xiao-Ying Meng; Haiyang Zhang 出版日期：2015-07-07
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