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 A novel gradient composition spreading and nanolayer stacking process for combinatorial thin-film materials library fabrication 一种用于组合薄膜材料库制备的新型梯度成分扩散和纳米层堆叠工艺
相关领域
材料科学
溅射沉积
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沉积物
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Zongkai Yan; Shuai Wu; Yu Song; Yong Xiang; Jun Zhu 出版日期：2020-06-01 |
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