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 Features of Electromagnetic Field Excitation in a Capacitive HF Discharge. II. Symmetric Discharge Completely Filling Vacuum Chamber under Symmetric and Asymmetric Excitation 电容式高频放电中电磁场激励的特征。II.对称和非对称激励下完全充满真空室的对称放电
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期刊：Plasma Physics Reports 作者：С. А. Двинин; О. А. Синкевич; З. А. Кодирзода; Д. К. Солихов 出版日期：2021-01-01 |
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