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标题
Control of selective SiGe etching by enhanced formation of hydroxyl radicals and by surface passivation in peracetic acid solution
通过增强羟基自由基的形成和过氧乙酸溶液中的表面钝化控制选择性SiGe蚀刻
相关领域
过氧乙酸 钝化 激进的 蚀刻（微加工） 化学 光化学 无机化学 材料科学 化学工程 有机化学 过氧化氢 图层（电子） 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.160063
DOI
10.1016/j.apsusc.2024.160063 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Seunghyo Lee; K. J. Song; Sangwoo Lim
出版日期：2024-04-06
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舒心易烟 在 2024-11-01 12:14:11 发布自上海，悬赏 10 积分
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