Fabrication and Electromechanical Characterization of Silicon Nanomechanical Membrane Flexure MEMS Sensor for Gas Sensing Applications

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标题	Fabrication and Electromechanical Characterization of Silicon Nanomechanical Membrane Flexure MEMS Sensor for Gas Sensing Applications 气敏硅纳米机械膜柔性MEMS传感器的制备及机电表征相关领域材料科学标度系数微电子机械系统压阻效应光电子学绝缘体上的硅硅制作纳米技术医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1109/jsen.2024.3351198
DOI	10.1109/jsen.2024.3351198 doi
其它	期刊：IEEE Sensors Journal 作者：B. S. Tina; Rohith Sangineni; V. Seena 出版日期：2024-01-15
求助人	尉迟冰蓝在 2024-12-26 11:30:09 发布自广东，悬赏 10 积分
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