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Toward Advanced High‐k and Electrode Thin Films for DRAM Capacitors via Atomic Layer Deposition
基于原子层沉积的DRAM电容器高k和电极薄膜研究
相关领域
材料科学
原子层沉积
动态随机存取存储器
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期刊:Advanced Materials Technologies 作者:Se Eun Kim; Ju Young Sung; Jae Deock Jeon; Seo Young Jang; Hye Min Lee; et al 出版日期:2022-10-26 |
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