Properties of gallium oxide thin films grown by ion beam sputter deposition at room temperature

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标题	Properties of gallium oxide thin films grown by ion beam sputter deposition at room temperature 室温离子束溅射沉积氧化镓薄膜的性能相关领域材料科学溅射薄膜结晶度镓无定形固体离子束分析化学（期刊）溅射沉积表面粗糙度基质（水族馆）沉积（地质）离子镀离子光电子学复合材料纳米技术化学冶金结晶学有机化学色谱法沉积物地质学古生物学海洋学生物
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001825
DOI	10.1116/6.0001825 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Dmitry Kalanov; Yeliz Unutulmazsoy; D. Spemann; Jens Bauer; André Anders; et al 出版日期：2022-04-22
求助人	伶俐的玫瑰在 2024-11-04 14:56:53 发布自陕西，悬赏 10 积分
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