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XPS characterization and optical properties of Si/SiO2, Si/Al2O3 and Si/MgO co-sputtered films
Si/SiO2、Si/Al2O3和Si/MgO共溅射薄膜的XPS表征及光学性质
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期刊:Thin Solid Films 作者:Naoto Koshizaki; Hiroyuki Umehara; Toshie Oyama 出版日期:1998-07-01 |
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